Tecnologia ENEA

NANOLAVORAZIONI MEDIANTE FOCUSED ION BEAM

Livello di Maturità Tecnologica (TRL)

5÷7

Aspetti innovativi e relativi benefici

L’apparato Focused Ion Beam (FIB) utilizza la scrittura diretta, cioè senza l’impiego di step fotolitografici, per modificare la superficie di qualsiasi materiale solido (semiconduttori, polimeri, metalli e isolanti) creando pattern tridimensionali di scala micro/nanometrica. Tramite un fascio di ioni di gallio, accelerato e altamente focalizzato, il FIB è in grado di rimuovere selettivamente qualsiasi tipo di materiale fino a 10 nanometri di risoluzione, cambiando in questo modo le proprietà elettriche e fisiche dei materiali originali.
E’ possibile, inoltre, la micro/nanodeposizione di platino sulle superfici dei materiali, realizzando in questo modo contatti elettrici nanometrici. Infine l’apparato è in grado di fare un’analisi morfologica interna degli strati che compongono i dispositivi optoelettronici tramite cross section.

Utilizzo

Realizzazione di metasuperfici su fibre ottiche per impiego come lab-on-fiber in grado di rilevare markers tumorali, inquinanti ambientali, sostanze tossiche. Realizzazione di nanocanali su dispositivi organici a due terminali per lo sviluppo di dispositivi sensori biomolecolari.
Realizzazione di nanoelettrodi di platino per sensori di idrogeno a nanofilo di palladio.
Realizzazione di nanostrutturazioni su dispositivi fotovoltaici a film sottile di silicio per migliorarne l’assorbimento della luce.

Attività svolte e in corso

Collaborazione con il gruppo di Optoelettronica del Dipartimento di Ingegneria dell’Università del Sannio a partire dal 2012 per nanolavorazioni su fibra ottica e per l’ottimizzazione del light trapping in celle solari a film sottile di silicio nell’ambito dell’Accordo di programma ENEA - MiSE sulla Ricerca di Sistema Elettrico; collaborazione con il gruppo SPIN (CNR – Napoli) e col Dipartimento di Fisica dell’Università Federico II di Napoli per la realizzazione di nanocanali in dispositivi organici a due terminali.

Referente

Per una richiesta relativa a questa scheda, scrivete all'indirizzo eneaperlinnovazione@enea.it, specificando il titolo della scheda, il motivo della richiesta e lasciando i vostri contatti o i riferimenti di una persona di contatto per la vostra azienda.